STUDY OF THE COBALT DIFFUSION IN CVD-LAYERS BY SCANNING AUGER MICROSCOPY (SAM)

被引：11

作者：

COLOMBIER, C

LUX, B

RIAHI, A

PUCHHAMMER, M

STORI, H

机构：

[1] VIENNA TECH UNIV,INST CHEM TECHNOL ANORGAN STOFFE,GETREIDEMARKT 9,A-1060 VIENNA,AUSTRIA

[2] VIENNA TECH UNIV,INST ALLGEMEINE PHYS,A-1040 VIENNA,AUSTRIA

来源：

FRESENIUS ZEITSCHRIFT FUR ANALYTISCHE CHEMIE | 1987年 / 329卷 / 2-3期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00469171

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：355 / 360

页数：6

共 22 条

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