共 2 条
- [1] CORRADI A, 1987, UNPUB DYNAMIT NOBEL
- [2] PURIFICATION AND IMPURITY DETECTION IN SILICON FOR MICROELECTRONICS[J]. JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 1986, 75 (01) : 80 - 87DOMENICI, MMALINVERNI, PPEDROTTI, M
SURFACE CONTAMINATION DETECTION BELOW THE PPB RANGE ON SILICON-WAFERS
被引：11
作者：
CORRADI, A
[1
]
DOMENICI, M
[1
]
GUAGLIO, A
[1
]
机构：
[1] DYNAMIT NOBEL SILICON,I-28100 NOVARA,ITALY
关键词：
D O I：
10.1016/0022-0248(88)90069-3
中图分类号：
O7 [晶体学];
学科分类号：
0702 ;
070205 ;
0703 ;
080501 ;
摘要：
2
引用
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页数：4
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