POROSITY IN THIN NI/AU METALLIZATION LAYERS

被引:15
作者
CHAO, YK
KURINEC, SK
TOOR, I
SHILLINGFORD, H
HOLLOWAY, PH
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.574156
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:337 / 342
页数:6
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