ENERGY-DISTRIBUTION OF DEFECTS IN THIN-FILMS DEPOSITED AT LOW-TEMPERATURE

被引：2

作者：

AKHOUAYRI, H

BELZONS, M

BLANC, R

CAMOIN, C

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1980年 / 66卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(80)90224-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页数：6

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共 12 条

[11]

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