HYDROGENATION AND DEHYDROGENATION OF AMORPHOUS AND CRYSTALLINE SILICON

被引：130

作者：

PANKOVE, JI

LAMPERT, MA

TARNG, ML

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.90078

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：439 / 441

页数：3

共 6 条

BRODSKY, MH ;

FRISCH, MA ;

ZIEGLER, JF ;

LANFORD, WA .

[2]

LEWIS AJ, 1974, P INT C TETRAHEDRALL, P27

[3] PHOTOLUMINESCENCE OF HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON [J].

PANKOVE, JI ;

CARLSON, DE .

[4]

PANKOVE JI, 1977, 7TH P INT C AM LIQ S, P402

[5] HYDROGEN CHEMISORPTION ON SILICON (110)5X1 SURFACE [J].

SAKURAI, T ;

HAGSTRUM, HD .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1976, 13 (04) :807-809

[6]

TRISKA A, 1975, B AM PHYS SOC, V20, P392