EFFECTS OF LOW-ENERGY ARGON-ION BOMBARDMENT ON MOS2

被引:32
作者
FENG, HC
CHEN, JM
机构
[1] UNIV PENN,LAB RES STRUCT MATTER,PHILADELPHIA,PA 19174
[2] FRANKLIN INST,BARTOL RES FDN,SWARTHMORE,PA 19081
来源
JOURNAL OF PHYSICS C-SOLID STATE PHYSICS | 1974年 / 7卷 / 05期
关键词
D O I
10.1088/0022-3719/7/5/001
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
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页码:L75 / L78
页数:4
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