POST-IMPLANT METHODS FOR CHARACTERIZING THE DOPING UNIFORMITY AND DOSE ACCURACY OF ION-IMPLANTATION EQUIPMENT

被引：9

作者：

GAN, JN

PERLOFF, DS

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1981年 / 189卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(81)90153-1

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：265 / 274

页数：10

共 30 条

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