CARBON AS A BARRIER FOR THE OUTDIFFUSION OF CU

被引:13
作者
CHANG, CA
YEE, DS
PETKIE, R
机构
关键词
D O I
10.1063/1.101045
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:2545 / 2547
页数:3
相关论文
共 12 条