USE OF FILM-FORMATION MODELS FOR THE INTERPRETATION OF ELLIPSOMETER OBSERVATIONS

被引：31

作者：

MULLER, RH ^{[1
]}

SMITH, CG ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF BERKELEY,DEPT CHEM ENGN,BERKELEY,CA 94720

来源：

SURFACE SCIENCE | 1980年 / 96卷 / 1-3期

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(80)90315-5

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

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页码：375 / 400

页数：26

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共 23 条

[21]

SMITH CG, 1978, LBL8082

[22]

SMITH CG, 1975, LBL3903 U CAL DEP CH

[23]

VASICEK A, 1964, ELIPSOMETRY MEASUREM, P25