ROLE OF IONS IN CARBON-FILM DEPOSITION BY A WINDOWLESS HYDROGEN LAMP

被引：7

作者：

HANABUSA, M

KANEOKA, T

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583836

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1432 / 1433

页数：2

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