EFFECTS OF SUBSTRATE TEMPERATURE, PRESSURE, AND HIGH EVAPORATION RATES ON NUCLEATION, EPITAXY, AND STRUCTURE OF PALLADIUM THIN FILMS

被引：15

作者：

MURR, LE

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1971年 / 7卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(71)90029-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：101 / &

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