METHOD FOR SURFACE ANALYSIS BY SPUTTERED NEUTRALS

被引:74
作者
OECHSNER, H
GERHARD, W
机构
关键词
D O I
10.1016/0375-9601(72)90660-3
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
引用
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页码:211 / &
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