CHARACTERISTICS OF DOUBLE PROBE IN NEGATIVE ION-CONTAINING PLASMAS

被引:11
作者
AMEMIYA, H
机构
来源
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1988年 / 27卷 / 12期
关键词
D O I
10.1143/JJAP.27.2423
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2423 / 2424
页数:2
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