THE USE OF THE NEUTRON-INDUCED REACTION FOR BORON PROFILING IN SI

被引：18

作者：

CERVENA, J ^{[1
]}

HNATOWICZ, V ^{[1
]}

HOFFMANN, J ^{[1
]}

KOSINA, Z ^{[1
]}

KVITEK, J ^{[1
]}

ONHEISER, P ^{[1
]}

机构：

[1] TESLA ROZNOV,ROZNOV POD RAD,CZECHOSLOVAKIA

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH | 1981年 / 188卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1016/0029-554X(81)90337-2

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：185 / 189

页数：5

共 9 条

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