ION-ASSISTED OPTICAL THIN-FILM DEPOSITION

被引：11

作者：

MARTIN, PJ

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574943

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

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页码：2158 / 2159

页数：2

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共 11 条

[11] NUCLEATION AND GROWTH-STUDIES OF GOLD-FILMS PREPARED BY EVAPORATION AND ION-ASSISTED DEPOSITION [J].

NETTERFIELD, RP ;

MARTIN, PJ .

APPLIED SURFACE SCIENCE, 1986, 25 (03) :265-278