SURFACE CHARACTERISTICS AND ELECTRICAL CONDUCTION OF BETA-SIC FILMS FORMED BY CHEMICAL CONVERSION

被引:10
作者
HAQ, KE
KHAN, IH
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1970年 / 7卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.1315373
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:490 / &
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