EPITAXIAL GROWTH OF SIC FILM ON SILICON SUBSTRATE AND ITS CRYSTAL STRUCTURE

被引:45
作者
NAKASHIMA, H
SUGANO, T
YANAI, H
机构
关键词
D O I
10.1143/JJAP.5.874
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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