THE APPLICATION AND LIMITATIONS OF THE EDGE-DIFFRACTION TEST FOR ASTIGMATISM IN THE ELECTRON MICROSCOPE

被引:32
作者
HAINE, ME
MULVEY, T
机构
来源
JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1954年 / 31卷 / 09期
关键词
D O I
10.1088/0950-7671/31/9/306
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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页码:326 / 332
页数:7
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