GLASS MACHINING BY ION SPUTTERING

被引:6
作者
BAYLY, AR
TOWNSEND, PD
机构
关键词
D O I
10.1088/0022-3727/5/11/103
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:L103 / &
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