GAS-DISCHARGE ION-SOURCE .3. MODIFIED BERKELEY MULTIFILAMENT ION-SOURCE

被引：5

作者：

BICKES, RW

BACON, FM

OHAGAN, JB

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1135302

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：1513 / 1517

页数：5

共 14 条

[11]

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