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IDEALIZED SPATIAL EMISSION DISTRIBUTION OF SECONDARY ELECTRONS
被引:23
作者
:
EVERHART, TE
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0
EVERHART, TE
CHUNG, MS
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CHUNG, MS
机构
:
来源
:
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
|
1972年
/ 43卷
/ 09期
关键词
:
D O I
:
10.1063/1.1661794
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
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