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BIAS-INDUCED STRESS TRANSITIONS IN SPUTTERED TIN FILMS
被引:50
作者
:
KATTELUS, HP
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0
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0
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0
机构:
CALTECH,PASADENA,CA 91125
CALTECH,PASADENA,CA 91125
KATTELUS, HP
[
1
]
TANDON, JL
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CALTECH,PASADENA,CA 91125
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TANDON, JL
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SALA, C
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CALTECH,PASADENA,CA 91125
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SALA, C
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NICOLET, MA
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CALTECH,PASADENA,CA 91125
CALTECH,PASADENA,CA 91125
NICOLET, MA
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机构
:
[1]
CALTECH,PASADENA,CA 91125
来源
:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS
|
1986年
/ 4卷
/ 04期
关键词
:
D O I
:
10.1116/1.573776
中图分类号
:
TB3 [工程材料学];
学科分类号
:
0805 ;
080502 ;
摘要
:
引用
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WEAST RC, 1972, CRC HDB CHEM PHYSICS, pB149
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