EXPERIMENTAL-OBSERVATIONS OF NEARLY MONODISPERSE POLYSTYRENE AS NEGATIVE ELECTRON RESISTS

被引：41

作者：

LAI, JH

SHEPHERD, LT

机构：

[1] Honeywell Corporate Material Sciences Center, Bloomington

来源：

关键词：

monodisperse; negative electron resist; polystyrene; resolution; sensitivity;

D O I：

10.1149/1.2129113

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

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页数：3