OPTICAL METHOD FOR INSPECTING LSI PATTERNS USING REFLECTED DIFFRACTION WAVES

被引：1

作者：

KIMURA, S

SUDA, K

HASE, S

MUNAKATA, C

机构：

来源：

APPLIED OPTICS | 1988年 / 27卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1364/AO.27.001187

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

页码：1187 / 1192

页数：6

共 6 条

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