ELECTRICAL PROPERTIES OF SILICONE FILMS ON SILICON

被引:2
作者
CONTI, M
TEGAGNI, F
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2411851
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:377 / &
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