CHARACTERIZATION OF FILMS DEPOSITED BY INSITU WALL CARBONIZATION IN TEXTOR

被引：18

作者：

BESOCKE, K ^{[1
]}

FLENTJE, G ^{[1
]}

LITTMARK, U ^{[1
]}

ESSER, HG ^{[1
]}

WIENHOLD, P ^{[1
]}

WINTER, J ^{[1
]}

机构：

[1] FORSCHUNGSZENTRUM JULICH, INST PLASMAPHYS, D-5170 JULICH 1, FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-3115(87)90417-X

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：651 / 654

页数：4