MAXIMUM THICKNESS OF AMORPHOUS NIZR INTERLAYERS FORMED BY A SOLID-STATE REACTION TECHNIQUE

被引:82
作者
MENG, WJ
NIEH, CW
JOHNSON, WL
机构
关键词
D O I
10.1063/1.98546
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:1693 / 1695
页数:3
相关论文
共 11 条