学术探索
学术期刊
新闻热点
数据分析
智能评审
立即登录
CHANNELING TRANSMISSION OF PROTONS THROUGH THIN SILICON MEMBRANES
被引:5
作者
:
PARMA, EJ
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS, MALIBU, CA 90265 USA
HUGHES RES LABS, MALIBU, CA 90265 USA
PARMA, EJ
[
1
]
HART, RR
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS, MALIBU, CA 90265 USA
HUGHES RES LABS, MALIBU, CA 90265 USA
HART, RR
[
1
]
BARTELT, JL
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS, MALIBU, CA 90265 USA
HUGHES RES LABS, MALIBU, CA 90265 USA
BARTELT, JL
[
1
]
机构
:
[1]
HUGHES RES LABS, MALIBU, CA 90265 USA
来源
:
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
|
1987年
/ 5卷
/ 01期
关键词
:
D O I
:
10.1116/1.583871
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
收藏
页码:228 / 231
页数:4
相关论文
共 12 条
[11]
ION-BEAM LITHOGRAPHY FOR IC-FABRICATION WITH SUBMICROMETER FEATURES
RENSCH, DB
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
RENSCH, DB
SELIGER, RL
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
SELIGER, RL
CSANKY, G
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
CSANKY, G
OLNEY, RD
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
OLNEY, RD
STOVER, HL
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
STOVER, HL
[J].
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY,
1979,
16
(06):
: 1897
-
1900
[12]
MASKED ION-BEAM LITHOGRAPHY FOR SUBMICROMETER DEVICE FABRICATION
SLAYMAN, CW
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
SLAYMAN, CW
BARTELT, JL
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
BARTELT, JL
MCKENNA, CM
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
MCKENNA, CM
CHEN, JY
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
CHEN, JY
[J].
OPTICAL ENGINEERING,
1983,
22
(02)
: 208
-
214
←
1
2
→
共 12 条
[11]
ION-BEAM LITHOGRAPHY FOR IC-FABRICATION WITH SUBMICROMETER FEATURES
RENSCH, DB
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
RENSCH, DB
SELIGER, RL
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
SELIGER, RL
CSANKY, G
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
CSANKY, G
OLNEY, RD
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
OLNEY, RD
STOVER, HL
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
STOVER, HL
[J].
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY,
1979,
16
(06):
: 1897
-
1900
[12]
MASKED ION-BEAM LITHOGRAPHY FOR SUBMICROMETER DEVICE FABRICATION
SLAYMAN, CW
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
SLAYMAN, CW
BARTELT, JL
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
BARTELT, JL
MCKENNA, CM
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
MCKENNA, CM
CHEN, JY
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
CHEN, JY
[J].
OPTICAL ENGINEERING,
1983,
22
(02)
: 208
-
214
←
1
2
→