CHANNELING TRANSMISSION OF PROTONS THROUGH THIN SILICON MEMBRANES

被引:5
作者
PARMA, EJ [1 ]
HART, RR [1 ]
BARTELT, JL [1 ]
机构
[1] HUGHES RES LABS, MALIBU, CA 90265 USA
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1987年 / 5卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.583871
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:228 / 231
页数:4
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