INVESTIGATION OF DIFFUSION IN CU-AL THIN-FILM SYSTEM

被引：30

作者：

GERSHINSKII, AE ^{[1
]}

FOMIN, BI ^{[1
]}

CHEREPOV, EI ^{[1
]}

EDELMAN, FL ^{[1
]}

机构：

[1] ACAD SCI USSR,INST SEMICOND PHYS,NOVOSIBIRSK 90,USSR

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(77)90362-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：269 / 275

页数：7

共 8 条

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