微小孔尺寸形状的脱模与图像测量

被引：7

作者：

李勇 ^{[1
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胡瑞钦 ^{[1
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机构：

[1] 清华大学机械工程系

[2] 清华大学摩擦学国家重点实验室

[3] 清华大学精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室

来源：

纳米技术与精密工程 | 2013年 / 11卷 / 04期

关键词：

微小孔; 孔形测量; 脱模; 图像处理; Radon变换;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH136 [其他机械元件]; TP391.41 [];

学科分类号：

080203 ;

摘要：

将脱模方法与显微图像处理结合,实现了微小孔内部轮廓的尺寸形状测量.首先采用具有超弹性的乙烯基聚硅氧烷作为制模材料,通过脱模方法将微小孔内部轮廓复制为模型的外部轮廓.然后在显微镜上采集模型的放大图像,利用图像分割、边缘提取、直线检测等图像处理手段,测量出微小孔内部直径随深度的变化曲线.开发出用于测量微小孔尺寸形状的应用软件,利用该软件对脱模法的复制精度进行校验.对于孔口直径在145～155μm的微孔,所制模型在孔口处直径与原始孔口直径的平均绝对值误差为0.9μm.通过脱模方法制作三维型腔模型,得到脱模模型形貌与原始形貌的平均绝对值误差为0.37μm,均方根误差为0.51μm.所提方法融合微米量级的脱模精度和像素级的图像测量精度,可用于微小孔孔径、内部轮廓形状等的测量.

引用

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