A UNIVERSAL RELATION FOR THE SPUTTERING YIELD OF MONATOMIC SOLIDS AT NORMAL ION INCIDENCE

被引:244
作者
BOHDANSKY, J
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(84)90271-4
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
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页数:5
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