引信用微压阻式加速度传感器系统设计

被引:8
作者
张菁华
石庚辰
隋丽
机构
[1] 北京理工大学机电工程学院,北京理工大学机电工程学院,北京理工大学机电工程学院北京,北京,北京
关键词
微机电系统; 加速度传感器; 引信; 自检测;
D O I
暂无
中图分类号
TP212 [发送器(变换器)、传感器];
学科分类号
080202 ;
摘要
所设计的微机械压阻式加速度传感器系统,能同时用于导弹引信的安全系统和发火控制系统;系统包括传感器、信号处理电路和自检测系统;以国内现有的加工水平为依据,通过优化设计得到传感器的结构参数,并对各项指标进行了仿真计算,在满足性能指标的前提下,保证器件良好的可加工性。
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