宽范围大曲率半径数字化非接触测量系统

被引：7

作者：

杨甬英

卓永模

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室杭州,杭州

来源：

仪器仪表学报 | 2002年 / 01期

关键词：

干涉仪; 曲率半径; 干涉图分析; CCD列阵;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2002.01.012

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

本文提出了一种新颖的利用激光偏振干涉体系产生非接触的牛顿环并与 CCD图像处理技术相结合的测量方法。可测量的曲率半径为 1～ 2 5m,具有很宽的测量范围 ;非接触测量不会损坏高精度表面 ;并可测试任意反射率的凹、凸球面 ,而测试体系结构却非常紧凑。干涉条纹经计算机数据处理可自动、快速获得测量结果。经误差分析 ,测量的相对误差 Δ R/ R优于 0 .3 %。

引用

页码：49 / 52+55 +55

页数：5

共 5 条

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