用最小二乘法提高 CCD 干涉计量的精度

被引：18

作者：

周恕义

关承祥

邬敏贤

金国藩

机构：

[1] 哈尔滨师范大学物理系,清华大学

来源：

关键词：

最小二乘法,CCD,干涉条纹;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1999.01.030

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

本文针对相位型光栅的面形测量，用最小二乘法做二次曲线拟合，解决了ＣＣＤ光学干涉计量中像素尺寸以及图像采集卡空间量化误差对测量精度的影响，使干涉条纹定位精度提高一数量级以上。对曲线拟合误差进行了讨论，给出了实测结果。

引用

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页数：3

共 5 条

[1]

光学测量.[M].苏大图主编;.机械工业出版社.1988,

[2]

实验误差与数据处理.[M].孟尔熹;曹尔第编;.上海科学技术出版社.1988,

吴晓波，钟先信，刘厚权，张启明 .

[4] 采用图象处理技术的高精度干涉计量系统 [J].

周恕义 ;

邬敏贤 ;

金国藩 .

[5] 用于相位检测的电视图象处理技术 [J].

周恕义 ;

金国藩 ;

邬敏贤 .