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基于质量流量的高精度气体浓度配比仪的设计
被引:7
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
赵亚威
胡瑞
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
沈阳理工大学信息科学与工程学院
胡瑞
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
陈亮
机构
:
[1]
沈阳理工大学信息科学与工程学院
来源
:
沈阳理工大学学报
|
2009年
/ 28卷
/ 03期
关键词
:
质量流量;
气体配比;
浓度;
高精度;
单片机;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TH83 [成分分析仪器];
学科分类号
:
080401
[精密仪器及机械]
;
摘要
:
采用质量流量配比气体的方法,设计一种气体浓度配比仪.仪器以高速单片机作为系统的控制核心,利用高分辨率的A/D和D/A芯片实现采样和控制,使用分段线性插值法和改进的PID算法实现高精度的气体浓度配比控制.实验结果证明比采用传统的方法可以获得更高的配比精度.
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页数:4
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共 4 条
[1]
质量流量控制器控制原理分析
[J].
王胜利
论文数:
0
引用数:
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h-index:
0
机构:
深爱半导体有限公司
王胜利
.
电子工业专用设备,
1998,
(04)
[2]
过程检测与控制.[M].王燕;方景林主编;.清华大学出版社.2006,
[3]
现代检测技术.[M].周杏鹏等编著;.高等教育出版社.2004,
[4]
单片机高级语言C51应用程序设计.[M].徐爱钧;彭秀华编著;.电子工业出版社.1998,
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