提高集成电路后工序成品率的方法

被引:1
作者
闫萍
机构
[1] 济南半导体元件实验所济南
关键词
集成电路; 工艺参数; 成品率;
D O I
暂无
中图分类号
TN406 [可靠性及例行试验];
学科分类号
080903 ; 1401 ;
摘要
本文从生产实际出发 ,剖析了影响集成电路后工序成品率的原因 ,并针对生产线工序指数能力着手 ,找到了解决问题的方法 ,使成品率有了很大的提高
引用
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共 2 条
[1]   提高半导体器件成品率的有效对策 [J].
谢永桂 .
半导体技术, 1999, (02) :48-55
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半导体器件工艺原理[M]. 人民教育出版社 , 厦门大学物理系半导体物理教研室 编, 1977