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提高集成电路后工序成品率的方法
被引:1
作者
:
闫萍
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
济南半导体元件实验所济南
闫萍
机构
:
[1]
济南半导体元件实验所济南
来源
:
山东电子
|
2002年
/ 02期
关键词
:
集成电路;
工艺参数;
成品率;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN406 [可靠性及例行试验];
学科分类号
:
080903 ;
1401 ;
摘要
:
本文从生产实际出发 ,剖析了影响集成电路后工序成品率的原因 ,并针对生产线工序指数能力着手 ,找到了解决问题的方法 ,使成品率有了很大的提高
引用
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页码:42 / 43
页数:2
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共 2 条
[1]
提高半导体器件成品率的有效对策
[J].
谢永桂
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
航天总公司西安微电子技术研究所
谢永桂
.
半导体技术,
1999,
(02)
:48
-55
[2]
半导体器件工艺原理[M]. 人民教育出版社 , 厦门大学物理系半导体物理教研室 编, 1977
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[1]
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[J].
谢永桂
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航天总公司西安微电子技术研究所
谢永桂
.
半导体技术,
1999,
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