光学轮廓仪测量原理及其误差分析

被引：4

作者：

高宏

薛实

李庆祥

严普强

机构：

[1] 精密仪器与机械学系

[2] 福精密仪器与机械学系

来源：

关键词：

表面轮廓; 表面粗糙度; 精密测量; 表面计量;

D O I：

10.16511/j.cnki.qhdxxb.1992.02.008

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

文中介绍了光学轮廓仪的测量原理及其误差分析。提出了一种干涉相位差与检偏器方位角成线性关系的微分干涉显微镜．应用相移干涉技术，实现了对表面轮廓的高精度测量。由于采用了共光路干涉体系，仪器对机械振动等外界干扰不敏感，在一般场合下测量精度可优于１ｎｍ。

引用

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