13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制

被引：7

作者：

王占山

张众

王风丽

吴文娟

王洪昌

秦树基

陈玲燕

机构：

[1] 同济大学精密光学工程技术研究所

[2] 同济大学精密光学工程技术研究所上海

[3] 上海

来源：

强激光与粒子束 | 2004年 / 09期

关键词：

软X射线; 分束镜; 多层膜; 等离子体诊断;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN246 [];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则,设计了13.9nm软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10mm×10mm,厚100nm的氮化硅窗口上镀制Mo/Si多层膜,实现了分束镜制作。用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到nm量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%。

引用

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