微机电系统的发展

被引：40

作者：

刘军营

楮金奎

朱向荣

韩光平

机构：

[1] 山东理工大学机械工程学院,西安理工大学,淄博市临淄热力公司,西安理工大学山东淄博,西安理工大学,陕西西安,陕西西安,山东淄博,陕西西安

来源：

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

微机电系统; 微器件; 微结构设计; LIGA;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

080401 [精密仪器及机械];

摘要：

始于 2 0世纪 60年代的微机电系统 (MEMS)是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域 ,是 2 1世纪的核心技术之一 .介绍了MEMS的形成、发展、基本研究内容、流行设计分析软件和主要制造工艺应用及微器件、微系统的种类和应用现状

引用

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