振动轮式MEMS陀螺动力学分析

被引：7

作者：

刘瑞华

刘建业

机构：

[1] 南京航空航天大学

[2] 南京航空航天大学南京

[3] 河海大学常州校区

[4] 常州

[5] 南京

来源：

关键词：

微机械电子系统; 惯性测量单元; 陀螺; 动力学分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

U666.123 []; V241.5 [陀螺仪表];

学科分类号：

081105 ; 08 ; 0825 ;

摘要：

振动轮式 MEMS陀螺是硅微陀螺中最具发展前景的类型之一。本文应用欧拉动力学理论 ,列写了振动轮式 MEMS陀螺的运动方程 ,在一定的假设条件下 ,推导出了敏感模态的输入输出关系 ,并指出了提高敏感性能的几条措施

引用

页码：114 / 118

页数：5