硅微机械传感器的技术特点及发展趋势

被引：7

作者：

刘月明

刘君华

张少君

机构：

[1] 西安交通大学!西安市

[2] 西安理工大学!西安市

来源：

仪表技术与传感器 | 2000年 / 02期

关键词：

硅; 微机械; 传感器; 技术特点; 发展趋势;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

基于硅微机械传感器的技术特点 ,分析了这类传感器的发展趋势 ,同时指出了它进一步发展中急需解决的几个问题

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页数：4

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共 3 条

[1]

智能传感器系统.[M].刘君华编著;.西安电子科技大学出版社.1999,

[2]

硅微机械加工技术.[M].黄庆安编著;.科学出版社.1996,

[3] 光激励硅微机械谐振式传感器的进展 [J].

刘月明 ;

刘君华 ;

张少君 .

传感器技术, 1999, (04) :1-4