光激励硅微机械谐振式传感器的进展

被引：6

作者：

刘月明

刘君华

张少君

不详

机构：

[1] 不详

[2] 西安交通大学电气工程学院!西安

[3] 不详

[4] 西安理工大学

[5] 不详

来源：

传感器技术 | 1999年 / 04期

关键词：

光激励,硅微谐振子,光纤;

D O I：

10.13873/j.1000-97871999.04.003

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

对光激励硅微机械式传感器的进展进行了综述，总结了该传感器的技术特点和结构形式，最后介绍了四种典型实例

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共 2 条

[1] 硅微机械谐振式传感器起振机理分析 [J].

李志能，陆献尧，张维卫 .

浙江大学学报(自然科学版), 1994, (03)

[2]

光纤传感器[M]. 华中理工大学出版社 , (英)[B.卡尔肖]BrianCulshaw, 1997