基于恒流配气方式的微气体传感器测试系统研究

为了安全、方便、可靠地进行气体敏感单元气敏性能测试,设计了一套基于恒流配气方式的微气体传感器测试系统。根据道尔顿分压定律和阿马伽定律,给出了恒流配气系统的理论实现公式。设计并制作了安全、可靠、防爆、防泄漏的反应室和基于气体饱和法的加湿装置。基于NI USB 6215系列多功能数据采集卡,以LabVIEW8.5为软件开发平台,开发了微气体传感器测试系统软件控制界面和尾气监控界面。制作了基于SnO2敏感薄膜的气体传感器原型,通过测试系统测得在2 000×10-6 H2浓度时气敏效果最好,灵敏度约24,响应时间约2 s,回复时间约200 s,且在2 000×10-6 H2浓度时,出现了气敏薄膜吸氢饱和现象。实验验证了该测试系统的可靠性。