声光调制器在激光直写系统光功率控制技术中的应用

被引：1

作者：

沈亦兵

李培勇

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!浙江杭州

来源：

关键词：

激光辐射控制; 声光调制器; 微加工;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN24 [激光技术、微波激射技术];

学科分类号：

摘要：

介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器，并根据光强稳定度要求分析给出了调制器的结构参数和相关的控制电路。按控制原理及调制器参数设计实现的声光调制系统获得了好的光强控制效果．受控前Ｈｅ－Ｃｄ激光器输出光强稳定度为１５％，控制后一级衍射光光强稳定度达０．０２％．

引用

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