用涂层压入仪测定薄膜与基体结合强度的探讨

被引：7

作者：

易茂中

陈广超

胡奈赛

何家文

机构：

[1] 中南工业大学粉末冶金国家重点实验室!长沙

[2] 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室!西安

来源：

真空科学与技术 | 1999年 / 02期

关键词：

压入法; 涂层压入仪; 涂层; 结合强度;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.1999.02.003

中图分类号：

O484.5 [薄膜测量与分析];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

用新颖的能连续加载、卸载并配有声发射监测的涂层压入仪 ,对薄膜与基体的结合强度进行了探讨。实验结果表明 ,膜或膜 /基破坏的声发射信号各有特点 ,可区分压入过程中 (含卸载 )开裂和剥落及其对应的载荷值。压入法的临界载荷 pc 为加载过程中使膜发生初始剥落的外载 ,用涂层压入仪可精确测定。 pc 值对基体硬度和表面粗糙度的变化敏感。故用涂层压入仪可以实现用压入法考察膜 /基结合强度

引用

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