光学非球面形摆臂式轮廓法测量顶点曲率半径优化算法研究

被引：8

作者：

贾立德 ^{[1
,2
]}

王家伍 ^{[2
]}

郑子文 ^{[1
]}

李圣怡 ^{[1
]}

戴一帆 ^{[1
]}

机构：

[1] 国防科大机电工程与自动化学院

[2] 中国酒泉卫星发射中心

来源：

仪器仪表学报 | 2009年 / 30卷 / 09期

关键词：

光学非球面; 摆臂式测量; 顶点曲率半径; 面形测量;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2009.09.037

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

摆臂式轮廓测量法通过测量非球面与某一球面之间的偏离量实现对非球面形的测量,但无法测量非球面的顶点曲率半径。在开发了测量试验系统的基础上,通过对测量原理的深入研究,利用被测非球面名义面形与测量数据建立了测量参考球面半径非线性最小二乘优化模型,利用该模型,可以在测量非球面形误差的同时获得被测非球面的顶点曲率半径值。同时分析了该模型的理论收敛误差,并在MATLAB下对算法进行了仿真。最后对直径200mm,顶点曲率半径1400mm的凹形抛物面镜进行了测量实验。仿真和测量试验表明了算法的有效性。

引用

页码：1996 / 2000

页数：5