梯度过渡层对TiC薄膜中残余应力影响的研究

被引：3

作者：

漆璿，王张敏，李戈扬，李鹏兴，吴人洁

机构：

来源：

上海交通大学学报 | 1995年 / 05期

关键词：

残余应力，薄膜，掠射法X射线衍射;

D O I：

10.16183/j.cnki.jsjtu.1995.05.032

中图分类号：

O484.4 [薄膜的性质];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

用平行光束掠射法（ＧＩＸＤ）测定了磁控溅射ＴｉＣ（Ａｌ基体）膜中的残余应力，比较了不同厚度的梯度过渡层对残余应力的影响．

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页数：5

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