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非球面碳化硅反射镜的加工与检测
被引：7
作者：
张峰
范镝
李锐刚
郑立功
高劲松
张学军
机构：
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
来源：
关键词：
非球面;
碳化硅反射镜;
计算机控制光学表面成型;
表面改性;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH74 [光学仪器];
学科分类号：
0803 ;
摘要：
为了获得高精度非球面碳化硅(SiC)反射镜,对非球面碳化硅反射镜基底以及改性后碳化硅反射镜表面的加工与检测技术进行了研究。介绍了非球面计算机控制光学表面成型(CCOS)技术及FSGJ-2非球面数控加工设备。采用轮廓检测法和零位补偿干涉检测法分别对碳化硅反射镜研磨和抛光阶段的面形精度进行了检测,并采用零位补偿干涉检测法及表面粗糙度测量仪对最终加工完毕的碳化硅反射镜的面形精度和表面粗糙度进行检测。测量结果表明:各项技术指标均满足设计要求,其中非球面碳化硅(SiC)反射镜实际使用口径内的面形精度(RMS值)为0.016λ(λ=0.632 8μm),表面粗糙度(RMS值)为0.85 nm。
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页码：1004 / 1008
页数：5
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