基于特殊结构悬臂梁的FBG温度补偿压力传感器

被引：10

作者：

张锦龙

余重秀

王葵如

机构：

[1] 北京邮电大学电子工程学院

来源：

半导体光电 | 2008年 / 02期

关键词：

光纤光栅; 悬臂梁; 双峰结构; 温度补偿;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

140102 [集成电路设计与设计自动化];

摘要：

提出两种特殊结构等强度悬臂梁,并用一根普通光栅实现了温度自动补偿的光纤光栅(FBG)应力传感器。在外界压力作用下,刚性粘接在悬臂梁上的光栅反射谱分裂成双峰结构,悬臂梁受到应力时引起传感光纤布拉格光栅反射谱双峰间距变化。根据该原理,实验比较了两种不同悬臂梁结构的测试结果,表明两种悬臂梁均具有较高精度、良好的线性和可重复性。

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页码：293 / 296

页数：4

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