正入射Mo/B4C软X射线多层膜

被引：2

作者：

吕俊霞

马月英

张俊平

曹健林

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所

来源：

光学学报 | 1998年 / 01期

关键词：

软X射线，Mo／B＿4C多层膜，正入射;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

采用Ｍｏ／Ｂ４Ｃ材料在短波长波段（λ＜１０．０ｎｍ）进行软Ｘ射线多层膜实验研究。在指定波长（８．０ｎｍ附近）处对多层膜进行结构设计，并制备出了周期结构准确的Ｍｏ／Ｂ４Ｃ多层膜样品。

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页数：3

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共 1 条

[1] 软X光激光用多层膜反射镜的制备与检测 [J].

曹健林，马月英，张俊平，裴舒，陈星旦 .

中国激光, 1995, (06) :465-470